「國際量子研究院」於2020年入駐河套深港科技創新合作區深圳園區（下文簡稱「合作區」），深圳市福田區從場地、資金、人才保障等多方面提供支持，推動深圳量子科學發展以及大灣區國際科技創新中心的建設。「國際量子研究院」的成立，是落實國家粵港澳大灣區、中國特色社會主義先行示範區「雙區」戰略，在深港科技創新合作區加強與港澳地區的深度融合，打造國際一流的共享共用研究交流合作平台。2021年10月，國內自主研發的加速電壓為30kV專業級場發射電子束刻蝕機樣機第一代實驗室樣機成功落地深圳國際量子研究院，攻克國內量子科技領域的一道「卡脖子」難題。

    電子束光刻機樣機落地合作區

    隨着「第二次量子科技革命」大幕的開啟，量子計算、量子測量等新一代信息技術邁入了產業大變革前夜。在這場席捲全球的新技術浪潮中，如何突破他國的技術封鎖和設備壟斷，成為國內量子科技領域的重要課題。而近日，一道曾擺在我國基礎科研與產業發展前的「卡脖子」難題得到了成功破解。

    2021年10月，在坐落合作區的國際量子研究院中，加速電壓為30千伏的專業級場發射電子束刻蝕機完成了第一代實驗室樣機安裝和調試，初步實現16nm以下線寬、50nm定位精度的微納結構的加工，開始用戶試用階段。電子束光刻機（Electron Beam Lithography-EBL）是利用聚焦電子束，通過圖形直寫曝光，在晶片上獲得圖形化微納尺寸結構與器件的一種高分辨圖形化微納加工技術手段，最高特徵線寬可以小於5納米，為物理、化學、微電子、光電子、微納光學及MEMS晶片、生物晶片製造加工提供了不可替代的納尺度結構製造技術支持，在新型微納器件製備和研究，尤其在當前量子器件與量子晶片的研發和加工中起到不可或缺的支撐作用。

    專家團隊規模為國內量子研究前列

    目前，研究院由中國科學院俞大鵬院士牽頭，專家團隊近200人，規模為國內量子研究前列。該研究院圍繞中國科技戰略布局，發揮合作區政策和區域優勢，入駐了深圳量子科學與工程研究院、粵港澳大灣區量子科學與工程聯合實驗室、廣東省量子科學與工程重點實驗室等項目。

    探尋量子研究院集聚頂尖學子的緣由，一位博士動情表示：「從0到1是最難的，紮根在河套的國際量子研究院給了我們很好的共享合作平台，讓我們眼中有光、心中有火，我相信我們一定能實現在科技領域的垂直躍升，展現出中國的原始創新實力。」

    實際上，吸引頂尖學子紮根河套的，還有福田區為建設河套深港科技創新合作區推出的系列創新措施，福田區利用福田保稅區現有倉儲物流廠房在層高、承重等方面的良好條件，成功改造了國際量子研究中心，為該中心發展提供了良好的空間保障。同時，相對低的營商成本、廣闊的經濟腹地、國際領先的轉化能力等等，吸引著世界各地頂尖人才「東南飛」到了河套。

    據研究院相關負責人介紹，研究院以聚焦量子材料，量子精密測量、量子計算等領域，融合大灣區量子力量為主要路徑，逐步打造國際一流共享共用和產業化中試平台。研究院經過三年發展，已取得了部分代表性成果，2016年團隊的核心成員，在實驗上首次發現了三維量子霍爾效應，量子霍爾效應在揭示物理相變、對稱性和互相作用等方面有非常重要的意義。該成果入選了2019年度「中國科技十大進展」。下一步，研究院還以面向國家重大需求作為發展布局，如國家實驗室任務、國防與金融安全等；面向人民生命健康，如製藥、醫療設備、健康生命檢測、生物傳感器等；面向基礎科學重大問題，如基礎原創性研究；面向國民經濟主戰場以及面向大灣區合作融合與國際協同創新作。

    頂圖：深圳國際量子研究院相關負責人向記者介紹發展狀況。