9月20日,長鑫存儲在世界製造業大會上宣布第五代DRAM技術平台(以下簡稱「G5平台」)實現量產,同步展出基於該平台打造的大容量LPDDR5X芯片。
長鑫存儲表示,依託創新的四重曝光技術把內存陣列的有源區半間距微縮至11.95納米,存儲密度較上一代提升50%以上,工藝水平直逼全球頂尖製程。通過變革工藝流程、採用新材料,存儲電容深寬比達45:1。開發適配DRAM工藝的高介電常數金屬柵(HKMG)工藝,成功將G5平台核心功能區高度縮小到6762納米。
本次大會同步展出兩款基於G5平台打造的LPDDR5X量產產品,單顆容量均為24GB,較上一代同類型產品提升50%,分別採用496Ball、245Ball封裝規格,可適配中高端智能手機、便攜式消費電子等不同場景需求,目前均已進入規模量產階段。