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「合肥造」光刻設備打破國外壟斷

2019-04-19
来源:香港商报网

  【香港商報網訊】巢湖之畔,即將迎來一場科技盛宴!4月24日,安徽創新館將正式開館,同步舉辦安徽科技創新成果交易會。屆時,代表安徽的科技發展成果將充分展示,引世界矚目。日前,「壯麗70年·奮鬥新時代」大型主題採訪活動走進合肥高新區,香港商報記者走訪了安徽創新館參展企業、積體電路領軍企業——合肥芯碁微電子裝備有限公司(簡稱「芯碁微裝」)。


  創新為魂  破解「缺芯之痛」
 
安徽省委常委、合肥市委書記宋國權在合肥高新區對芯碁微裝開展調研
 
  2016年4月26日,習近平總書記來到中科大考察,在先進技術研究院觀看了高新技術企業科技成果集中展示。作為安徽省積體電路產業的創新成果代表,由合肥芯碁微電子裝備有限公司研發的65納米製版光刻設備接受了總書記的「檢閱」。
 
  現場,習總書記還特意詢問了積體電路晶片製造過程以及芯碁微裝的創新成果轉化方式。當瞭解到該設備成功打破國際壟斷、保障國防軍工資訊安全,並已在國內成功實現銷售時,習總書記頻頻頷首贊許並勉勵芯碁微裝科技創新團隊再接再厲,不斷創新。
 
  彼時的科技創新成果展,是安徽省科技創新成果的集中展示。芯碁微裝作為合肥戰略性新興產業的中堅力量參展既是國家和政府對自主創新的重視,也是對芯碁微裝發展和成績的認可。
 
  位於創新產業園的芯碁微裝作為國內唯一能夠製造「半導體納米級製版光刻設備」的企業,其核心產品半導體製版光刻設備及鐳射直接成像設備可直接與歐美、日本廠家展開競爭,打破了國際壟斷,為國家節約了巨額外匯,產品填補了國內空白,有着重要的國防意義。是國家積體電路產業基金重點扶持企業。公司目前已獲得90多項技術專利。
 
  自主創新、強壯「中國芯」,一直是積體電路人的「中國夢」。 芯碁微裝「總經理方林及其團隊瞄準的是晶片領域的高端裝備製造業——鐳射直顯光刻。國際市場上,芯碁在納米參數上每前進一步,同款設備的價格就要下降五至六成。
 
  記者瞭解到,合肥高新區積極承接中科大、中科院等科研院所的科技成果產業化,集聚一批積體電路產業的創新平臺和龍頭企業。通過全產業鏈集聚創新優勢,合肥高新區的人工智能、量子通信、積體電路、資訊安全等戰新產業產值連續四年保持20%以上增長,對工業增加值貢獻率40%以上。
 
  合肥高新區不負眾望,創「芯」之路日漸清晰,初步形成了自己的產業特色。
 
  芯碁微裝,鑄造高端裝備民族品牌
 
芯碁微裝總經理方林在受訪中
 
  去年12月18日,安徽省慶祝改革開放40周年科技成果展在合肥濱湖會展中心召開。芯碁微裝作為唯一一家積體電路裝備企業參加了此次展會。當場的展品Acura280是一款高解析、高產能,高對位和多光頭的鐳射直接曝光系統,填補了國內空白。該設備還被評定為2018年安徽省首台(套)重大技術裝備。
 
  安徽省委常委、合肥市委書記宋國權在合肥高新區對芯碁微裝調研時指出,芯碁微裝作為國內屈指可數的半導體高端裝備企業,要繼續保持技術領先性,奮力趕超國外競爭對手,為中國的半導體產業貢獻力量。
 
  為貫徹落實習近平總書記在民營企業座談會上的重要講話,2018年11月5日,安徽省委書記李錦斌考察芯碁微裝時對芯碁的技術和設備給予充分肯定,對芯碁不斷研發新品,自主智慧財產權,角逐國際市場給予高度讚賞。他強調:我們已經從「0」到「1」,填補了國內無掩模光刻設備的空白,下一步就是做到「1+1」,讓我們的光刻設備在國際上擁有一席之地。
 
  「為合肥產業振興作出芯碁貢獻。」方林表示:一直以來,芯碁微裝得到了各級領導的關懷。芯碁人始終堅守着打造國際先進的積體電路高端裝備民族品牌的願景。我們必將不負所望,開拓創新,用工匠精神打造國產積體電路高端裝備市場,走實業興國之路,為晶片製造業打好堅實的基礎,形成以芯碁微裝為龍頭的積體電路裝備產業基地,帶動上下游產業鏈的發展和成長。
 
  記者瞭解到:合肥積體電路產業雖然起步較晚,但發展的勢頭卻十分強勁。一直以來,國家和安徽省高度重視合肥積體電路產業發展,工信部將合肥列為全國 9 大積體電路集聚發展基地之一,國家發改委將合肥列為 14 個積體電路產業重點發展城市之一,部分專案已納入「十三五」國家重大積體電路生產佈局規劃。根據相關規劃,合肥積體電路產業到 2020 年力爭產值突破 500 億元。
 
  星星之火,可以燎原。合肥用幾年的時間匯集了129家積體電路企業,覆蓋了設計、製造、封測、設備和材料等全產業鏈。這個城市的積體電路產業曾經是一片荒漠,如今這裏已經成為中國積體電路產業生機勃勃的綠洲。項目聚能,「合肥芯」崛起的背後正是像芯碁微裝這樣一家家積體電路企業精耕細作的累積。(方芳  吳敏)
 
 
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